超純水系統在半導體、電子、光伏行業應用
【南京純水設備】超純水系統在半導體、電子、光伏行業應用
超純水設備傳統工藝是采用離子交換樹脂的方法,這種方法初次投資少,所占地方小,但要不斷耗費大量酸堿,進行離子再生,在一定程度上污染了環境。現在廣泛采用反滲透作預處理再配上EDI電去離子裝置,是目前超純水制取較為先進和環保的工藝方法,不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水,不會污染環境。
針對原水水質、產水水質制定相關的超純水設備,根據不同的系統要求,增減超純水處理系統部分一些單元,從而達到符合不同行業的不同水質。例如集成電路用超純水,對電阻率的標準是18 M?.cm(25 ℃);而光電產業,藍寶石襯底的超純水要求電阻率為16 M?.cm(25 ℃)。;光伏行業的太陽能級多晶硅超純水,對電阻率的要求一般在10 M?.cm(25 ℃)。確保穩定的合格水質才是超純水設備的最終目標。為達到系統穩定性,在設計時可采用一備一用系統配置。
超純水系統對制取過程中各項材料的材質要求都非常高。在預處理階段,一般會用到聚氯乙烯UPVC,之后采用高潔度聚丙烯PP,回收系統采用聚偏二氟乙烯PVDF,這樣不僅可以大大降低使用成本,還能夠保證整個系統運行的穩定性。南京反滲透純水設備 南京EDI純水處理設備 南京工業純水設備 南京超純水設備 南京實驗室純水設備 南京醫用純化水設備 南京去離子水處理設備
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